本论文以实际生产为基础，通过对CVD工艺的具体过程、生产设备及操作的分析，对实际生产中硅片质量检测数据的分析以及具体的对比实验，对工艺中出现的硅片表面颗粒问题进行了深入的研究分析。针对CVD工艺中出现的表面颗粒问题做了一...
Seminar1化学气相沉积(CVD)原理及其薄膜程士敏.研究员Seminar(CVD)2008.05.27CVD原理定义气态物种输运沉积过程热力学和动力学CVD技术分类CVD薄膜CVD技术的优缺点孟广耀，化学气相淀积与无机新材料，北京：科学出版社，1984气态源液态源固态源...
硕士论文答辩—《HDPCVD工艺的应用与改善》摘要第1-5页ABSTRACT第5-8页前言第8-11页第一章化学气相淀积（CVD）介绍第11-21页
dcvdhdp工艺在半导体制造中的应用和改善word格式论文.docx,DCVDHDP工艺在半导体制造中的应用和改善摘要本课题主要以介电质化学气相淀积(DCVD)工艺为基础，以高密度等离子体CVD(HDPCVD)作为研究对象，对其中出现的浅沟槽绝缘层钥匙孔...
顾名思义，化学气相沉积（CVD）就是通过气体混合的化学反应在晶圆表面淀积一层固体膜的工艺，这是常在半导体制程中使用的技术。CVD技术具有淀积温度低（500℃~1100℃）、薄膜成分与厚度易控、膜厚遇淀积时间成正比、均匀性与重复性…
PECVD淀积SiO2薄膜工艺研究.pdf,第1期微处理机No．12010年2月MICROPROCESSORSFeb．，2010PECVD淀积SiO2薄膜工艺研究崇亢拮，黎威志，袁凯，蒋亚东(电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都...
因此,大面积高质量双层石墨烯的工艺以及快速、简便且低廉的石墨烯表征技术是当前石墨烯的大规模生产迫切需要的,为在多领域内（如电子信息、生命科学、航空航天、军事防卫等）拓展石墨烯的应用提供了技术支持及物质保障。.本论文以CVD铜基石墨烯为...
氮化硼涂层的CVD工艺研究.【摘要】：氮化硼(BN)具有较好的抗氧化性、抗热震性和化学稳定性,并且具有与石墨相似的六方片层结构,是纤维增韧陶瓷基复合材料(CMCs)中界面材料的首选,用于改善复合材料的热稳定性和力学性能。.在众多BN界面涂层的方法...
用CVD法碳纳米管的关键是催化剂的和选择。.没有催化剂的作用，是不可能出碳纳米管的。.所以，高催化活性和高选择性的催化剂就成为生产高纯碳纳米管的关键。.本课题主要研究了碳纳米管催化剂的工艺，包括工艺过程、配料比、沉淀...
·论文的主要内容第16页·论文的章节安排第16-17页第二章DCVDHDP工艺原理和淀积设备第17-29页2.1CVDHDP工艺概述及其原理第17-26页2.1.1HDP工艺的基础：CVD工艺概述第17页2.1.2CVD工艺原理第17
论文>经济论文>cvd化学与薄膜工艺2040223ChemicalVaporDepositionThinFilmTechnologyTel:3603234Fax:3607627mgym@ustc.edu材料科工程系的一些...
本文主要围绕CVD-BN的工艺,研究了工艺参数对BN涂层沉积的影响,分析了CVD-BN的沉积机理,并研究了热处理温度对BN界面涂层结构的影响,取得了以下研究成果:1.以三氯化硼(BCl3...
西北工业大学博士论文,1995.9碳/碳材料快速CVD工艺结构性能及应用研究[J].罗瑞盈.材料导报.1996(06)罗瑞盈.碳/碳材料快速CVD工艺结构性能及应用研究[D].西北工业大学,199...
不同纳米结构的ZnO其方法不同,着重概述了采用化学气相沉积(CVD)工艺ZnO纳米材料,包括直接热分解、高温加热锌粉、碳热还原法以及金属有机气相沉积(...
国防科学技术大学研究生院学位论文摘要应用cvD工艺,了金属Re薄膜,对其工艺、结构、成份以及性能进行了研究分析。自行设计组装了cVD装置,采用...
【摘要】:CVD金刚石薄膜具有优异的物理和化学性质,在力学、声学、热学以及电子学等领域具有广泛的应用前景。本文采用自行设计的大功率热丝CVD系统在单晶硅片和硬质合金衬底上...
·集成电路制造中化学气相淀积的工艺类型第13-19页·化学气相淀积技术(CVD)的分类第13页·四种常用的化学气相淀积(CVD)方法的区别与联系第13-19页·论文的主要内容...
ICPECVD法氧化硅薄膜的工艺研究收藏本页资料大小:219.72KB文档格式:PDF文档资料语言:中文版打开方式:AdobeReader资料类别:仪器仪表相关说明:相关信息:本站推...
cvd法渗铝设备及工艺分析word格式论文.docx,摘要先进燃气轮机为追求高“推重比”,不断提高涡轮进口温度,使得燃气轮机叶片的工作条件越来越苛刻,对其用材的性能...
《第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ》2004年收藏|手机打开CVD工艺中气体流型的研究汪飞琴苏小平鲁泥藕【摘要】:化学气相沉积(CVD)法可高纯度、近似元...