清华大学团队论文登Nature，为EUV光刻机发展提供新思路.该技术之所以被关注，是因为SSMB可能被用作未来大功率EUV技术的光源。.芯东西2月25日消息，昨天，清华大学的一项研究登上最新一期国际顶刊《自然（Nature）》。.该研究描述了一种新型光源整合技术...
清华团队论文登Nature，或为EUV光刻机发展提供新想法.【新智元导读】2月25日，清华大学工程物理系唐传祥研究组与合作团队在《自然》上发表研究论文《稳态微聚束原理的实验演示》，报告了一种新型粒子加速器光源「稳态微聚束」的首个原理验证实验。.与...
清华团队论文登Nature，或为EUV光刻机发展提供新想法,光刻机,辐射,电子束,激光器,euv网易首页应用网易新闻网易公开课网易红彩网易严选邮箱大师网易云课堂快速导航新闻国内国际图片评论军事王三三...
原创清华大学团队论文登Nature，为EUV光刻机发展提供新思路2021-02-2610:37来源:芯东西芯东西（公众号：aichip001）编译|高歌编辑|云鹏芯东西2月25日消息，昨天，清华大学的一项研究登上最新一期国际顶刊《自然（Nature）》。该研究描述了一...
2008年，哈工大博士生张兴强发表论文，讲述了三线毛细管EUV光源设计概念在这篇论文中，已经描述了三线毛细管放电EUV装置要解决的问题。然而从此以后，我没有看到哈工大有任何更新的结果，我也没有在哈工大寻找到任何张兴强博士更新的研究资料。
EUV光刻机，中国造芯绕不过的坎正如前文所说，光刻机承担着芯片制造中最为复杂和关键的制作工艺步骤，是高端芯片生产中不可或缺的关键设备之一，其中7nm以下的先进制程必须用到EUV光刻机。如果没有EUV光刻机，国产芯片制程只能止…
EUV的缺点：价格贵&耗电！！！EUV光刻机要把光压到这么短的波长，需要极高的能量。除了设备售价高，技术复杂外，还有很高的耗电能力。EUV除了售价高，技术复杂外，其耗电能力也是一绝。首先，要得到这样高功率的极紫外光，需要功耗极大的激光器。
简单地进行对比，该文正文中出现EUV的次数为4次，出现光刻的次数为1次，出现加速器的次数为7次，出现同步辐射的次数为2次，但是辐射一词出现了53次以上。或许有人会说，论文中很少光刻和EUV，不代表不可能成为自主EUV光刻机的方案。
TheExtremeUltravioletImager(EUV)oftheIMAGEMissionwillstudythedistributionofHe+inEarth'splasmaspherebydetectingitsresonantly-scatteredemissionat30.4nm.ItwillrecordthestructureanddynamicsofthecoldplasmainEarth'splasmasphereonaglobalscale.The30.4-nmfeatureisrelativelyeasytomeasurebecauseitis...
清华大学团队论文登Nature，为EUV光刻机发展提供新思路.芯东西2月25日消息，昨天，清华大学的一项研究登上最新一期国际顶刊《自然（Nature）》。.该研究描述了一种新型光源整合技术，首次展示了同步辐射光源与自由电子激光这两种主要加速器光源结合后的...
论文链接：https://nature/articles/s41586-021-03203-0一、SSMB技术：整合两种光源优势，或能用于改良EUV光源该论文报告了一种新型粒子加速器光源稳态微束（SSMB）的首个...
目前,清华大学正积极推动SSMBEUV光源在国家层面的立项工作。清华SSMB研究组已向国家发改委提交了“稳态微聚束极紫外光源研究装置”的项目建议书,申报了“十四五”国家重大科技基础...
目前,清华大学正积极推动SSMBEUV光源在国家层面的立项工作。清华SSMB研究组已向国家发改委提交了“稳态微聚束极紫外光源研究装置”的项目建议书,申报了“十四...
王跃明,中国人工智能学会脑机融合与生物机器智能专委会副秘书长,浙江大学教授,博导,博士。主要研究方向:计算机视觉、信号处理、脑机交互。获2016年国际脑机接口创新研究提...
有望解决EUV卡脖子难题没有顶尖的光刻机,是我国半导体行业发展的最大瓶颈。光刻机的曝光分辨率与波长直接相关,半个多世纪以来,光刻机光源的波长不断缩小,芯片工业界公认的新一代主...
光刻机分为紫外光源（UV）、深紫外光源(DUV)、极紫外光源（EUV）。按照发展轨迹，最早的光刻机光源即...
该研究与极紫外（EUV）光刻机光源密切相关，有望为EUV光刻机提供新技术路线。SSMB光源首个原理验证实验，中德团队登上Nature同步辐射源提供短而强烈的微束电子，产生的辐射脉冲具有...
清华团队论文登Nature，或为EUV光刻机发展提供新想法。2月25日，清华大学工程物理系唐传祥研究组与合作...
SSMB光源未来有望应用于EUV光刻和角分辨光电子能谱学等领域。”该论文一经刊发，立即引起国内外学术界...
清华团队论文登Nature,或为EUV光刻机发展提供新想法新智元报道编译:小匀、LQ【新智元导读】2月25日,清华大学工程物理系唐传祥研究组与合作团队在《自然》上...